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链（带）式烧结炉
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链（带）式烧结炉主要由加热部分、精密温度自动控制系统、机械结构、氢氮保护装置等组成。主要用于半导体器件烧结、封焊、焊接及集成电路金属化管壳等气密性封装，玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的热处理，运载能力大，并采用水、气电转换器控制传感报警及超温报警功能。设有断氢报警与自动点火装置，并设有安全联锁装置，是用户提高生产效率的理想设备。
链式炉主要技术指标 单位：mm
名称规格 链式烧烤炉（I）链式烧烤炉（II） 气体保护带式炉
型号 L66800/RZQ L6611II/RZQ L49500/RZQ
带宽 80-100 85-250 42-92
工作高度（内） 50-120 80-150 50-100
工作宽度（内） 90-120 100-260 50-100
冷却区长度 600-800 800-2000 600
最高温区 900℃ 1100℃ 600℃
温度范围 200-800℃ 500-1000℃ 200-500℃
恒温区长 400-1000 200-1000 400-600
控制精度 ±3℃-±6℃ ±3℃-±10℃ ±3℃-±6℃
带速 50-300mm/min 50-300mm/min 50-300mm/min
升温时间 90-150min 150-210min 90min
N2气流量 0-40-100L/min 40-120 L/min 0-40L/min
H2气流量 0-40-100L/min 40-120 L/min 0-40L/min
升温功率 15-30KW 15-40KW 15KW
加热方式 马蹄管、挂板式加热 挂板式加热 马蹄管加热
设备外形尺寸 6000×1400×600 7500×1410×840 4500×1360×560
控制段数 3-5段 3-6段 3段
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